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清洗才能是指在一定條件下，除去粘附于工件外表污染物的才能。其一，是指污染物除去的數量或污染物允許殘留的水平；其二，是指除去一定數量污染物所需的時間。
清潔度是指工件干凈的水平。可用工件上殘留的污染物的重量來表示，也可用工件上殘留污染物的粒子大小和數量來表示，也可用殘留的金屬原子、離子和離子污染度來表示，或用殘留的有機物、有機碳含量來表示。如關于做相對運動的機械零部件來說，對運用壽命和牢靠性影響最大的問題是粒子污染，并且是粒子的大小和數量，特別是粒徑大小剛好與機械運動副的配合間隙相當時，形成的影響和危害最大。由于太大的粒子進不到間隙中，太小的粒子可在間隙中游動。所以，早期清潔度用重量法來評價的后來有的就更改為用粒度法來評價了。國際規范(ISO)中，清潔度采用的也是粒度法。電子產品中，對牢靠性影響最大的問題是殘留的離子污染，離子污染會形成電走漏、電遷移，形成短路、電化學腐蝕、改動電性能、改動絕緣電阻等。所以，常用離子污染度來評價電子產品的清潔度。
由于工件外表存在粘附污染物的能量，所以絕對的凈化外表是不可能的，對多數應用來說，只需外表污染減少到最小限度，最后沒有明顯影響就能夠了。
外表清潔度應契合以下2條規范：
a．必需滿足下道工序的請求；
b．必需保證工件、產品(儀器和設備)具有足夠好的性能、運用壽命和牢靠性。
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